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      愛發科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵

      簡要描述:愛發科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。

      • 產品型號:
      • 廠商性質:經銷商
      • 更新時間:2022-04-06
      • 訪  問  量:80
      詳情介紹
      愛發科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵的介紹
      特長
      NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
      低噪音、低振動
      優良的耐腐蝕性
      標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
      選購件
      可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
       
      用途
      •  活性氣體(CVD、刻蝕等)。
      •  排出非活性氣體(濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。
      •  用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
      •  作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)。
      •  冷凍干燥等水蒸氣排氣。
       
      愛發科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵的技術參數:
       

       

       

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